加工范围从几十微米到几百微米。。。

1.、、、X\Y轴：IC系列有铁芯电机，，重复精度±1μm，，定位精度3μm
。。。

2
、、Z 轴：AKM伺服电机+丝杆+光栅闭环
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。。重复定位±2μm,定位精度5μm。。。。

3、、、AKD系列驱动器

此类产品会用到IL系列直线电机等产品。。
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