加工范围从几十微米到几百微米
。。 1.、、X\Y轴：IC系列有铁芯电机，，重复精度±1μm
，，，，定位精度3μm。
。 2、、、Z 轴：AKM伺服电机+丝杆+光栅闭环。
。重复定位±2μm,定位精度5μm
。
。。。 3、、、
、AKD系列驱动器 此类产品会用到IL系列直线电机等产品
。。 

低速平稳性，，，实现纳米级的速度波动，，，，大大提升零件表面的光洁度
，，
，，主要用于高端光学器件的表面加工。。 此类产品会⽤到IL系列直线电机等产品。。