晶圆涂胶（清洗）专用封装力矩电机12英寸(输出轴方轴、、、、圆轴） - 北京尊龙时凯智能科技有限公司

晶圆涂胶（清洗）专用封装力矩电机12英寸(输出轴方轴、、圆轴）

技术指标：

径向跳动（轴远端）≤3微米

洁净间里进行温升和噪声的检测＜70dB(6000RPM) ＜65dB(3000RPM)

适用于：12寸集束型涂胶显影机 12寸星型涂胶显影机 12寸喷雾式涂胶机